T/DLSHXH 005-2020 电子工业用气体 溶解乙炔

本标准规定了电子工业用气体溶解乙炔的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。
本标准适用于以工业乙炔为原料经纯化制备的电子工业用气体溶解乙炔。电子工业用气体溶解乙炔主要用于半导体领域。
分子式:CH
相对分子质量:26.04（按2011年国际相对原子质量)