JIS C 5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法

JIS C5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法
JIS C5630-6-2011,,Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. 
Part 6:Axial fatigue testing methods of thin film materials
JIS C5630-6-2011 マイクロマシン及びＭＥＭＳ－第６部：薄膜材料の軸荷重疲労試験方法