T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉

本文件规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、对设计和制造的补充要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承诺。
本文件适用于直拉法单晶生长炉（以下简称“单晶炉”）。