T/ZSA 166-2023 石墨烯材料 绿色制备指南 第1部分：化学气相沉积法（CVD）

本文件梳理了CVD 法制备石墨烯薄膜的典型工艺流程，列举了原料、能耗等关键因素的消耗范围，整理了典型工艺的温室气体排放核算方法，提出了绿色制备途径，推荐了绿色制备最佳实践与潜在技术和碳减排建议，给出了企业台账的参考模板，对石墨烯薄膜制造过程中的减量化、资源化及再利用、无害化方面提供了指南。
本文件适用于绿色园区规划、绿色厂房建设、绿色工艺评价、绿色投资决策等。