SJ/T 11183-2022 匀胶设备通用规范

本标准规定了匀胶设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的匀胶设备。