SJ 21315-2018 旋涂及热板设备通用规范
资料介绍
本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。本规范适用于旋涂及热板设备(以下简称设备）的设计、生产、检验和验收
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