SJ 21499-2018 声表面波器件划片工艺技术要求

本标准规定了声表面波器件划片工艺的人员、环境、安全、材料、设各和仪器等一舟mR要求，以及声表面波器件划片工艺的典型_L艺流程、各工序技术、检验等详细要求。
本标准适用于军用声表面波器件砂轮划片工艺。